- EAN13
- 9782746241848
- Éditeur
- Hermès science publications
- Date de publication
- 06/06/2011
- Langue
- français
- Fiches UNIMARC
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Livre numérique
Autre version disponible
Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques
ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de
matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des
propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée,
effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que
ces matériaux soient bien maîtrisés à l'état de céramique, les couches minces
et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières
années ont vu une progression technologique sans précédent quant à
l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour
les microsystèmes. Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium est
ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement
thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les
technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations
spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations
technologies abouties.
ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de
matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des
propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée,
effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que
ces matériaux soient bien maîtrisés à l'état de céramique, les couches minces
et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières
années ont vu une progression technologique sans précédent quant à
l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour
les microsystèmes. Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium est
ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement
thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les
technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations
spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations
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