Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium
EAN13
9782746241848
Éditeur
Hermès science publications
Date de publication
Langue
français
Fiches UNIMARC
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Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium

Hermès science publications

Livre numérique

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Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques
ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de
matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des
propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée,
effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que
ces matériaux soient bien maîtrisés à l'état de céramique, les couches minces
et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières
années ont vu une progression technologique sans précédent quant à
l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour
les microsystèmes. Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium est
ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement
thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les
technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations
spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations
technologies abouties.
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